ნაწილაკების მკაცრი კონტროლის გარდა, ელექტრონულ სუფთა ოთახს, რომელიც წარმოდგენილია ჩიპების წარმოების სახელოსნოებით, ინტეგრირებული მიკროსქემის მტვრისგან თავისუფალი სემინარებითა და დისკების წარმოების სახელოსნოებით, ასევე აქვთ მკაცრი მოთხოვნები ტემპერატურისა და ტენიანობის კონტროლის, განათების და მიკროშოკის მიმართ. მკაცრად ამოიღეთ სტატიკური ელექტროენერგიის ზემოქმედება წარმოების პროდუქტებზე, რათა გარემომ დააკმაყოფილოს ელექტრონული პროდუქტების წარმოების პროცესის მოთხოვნები სუფთა გარემოში.
ელექტრონული სუფთა ოთახის ტემპერატურა და ტენიანობა უნდა განისაზღვროს წარმოების პროცესის მოთხოვნების შესაბამისად. როდესაც არ არსებობს კონკრეტული მოთხოვნები წარმოების პროცესზე, ტემპერატურა შეიძლება იყოს 20-26°C და ფარდობითი ტენიანობა 30%-70%. პერსონალის სუფთა ოთახისა და მისაღები ოთახის ტემპერატურა შეიძლება იყოს 16-28℃. ჩინეთის ეროვნული სტანდარტის GB-50073 მიხედვით, რომელიც შეესაბამება ISO საერთაშორისო სტანდარტებს, ამ ტიპის სუფთა ოთახის სისუფთავის დონეა 1-9. მათ შორის, კლასი 1-5, ჰაერის ნაკადის ნიმუში არის ცალმხრივი ნაკადი ან შერეული ნაკადი; მე-6 კლასის ჰაერის ნაკადის ნიმუში არის არაერთმხრივი ნაკადი და ჰაერის ცვლილება 50-60-ჯერ/სთ; მე-7 კლასის ჰაერის ნაკადის ტიპი არის ცალმხრივი ნაკადი და ჰაერის ცვლილება 15-25-ჯერ/სთ; 8-9 კლასის ჰაერის ნაკადის ტიპი არის ცალმხრივი ნაკადი, ჰაერის ცვლილება 10-15-ჯერ/სთ.
მიმდინარე სპეციფიკაციების მიხედვით, 10000 კლასის ელექტრონული სუფთა ოთახში ხმაურის დონე არ უნდა იყოს 65 დბ(A)-ზე მეტი.
1. ელექტრონულ სუფთა ოთახში ვერტიკალური ნაკადის სუფთა ოთახის სრული თანაფარდობა არ უნდა იყოს 60%-ზე ნაკლები, ხოლო ჰორიზონტალური ცალმხრივი ნაკადის სუფთა ოთახი არ უნდა იყოს 40%-ზე ნაკლები, წინააღმდეგ შემთხვევაში ეს იქნება ნაწილობრივი ცალმხრივი ნაკადი.
2. სტატიკური წნევის სხვაობა ელექტრონულ სუფთა ოთახსა და გარეთ არ უნდა იყოს 10Pa-ზე ნაკლები, ხოლო სტატიკური წნევის სხვაობა სუფთა და არასუფთა უბნებს შორის ჰაერის განსხვავებული სისუფთავით არ უნდა იყოს 5Pa-ზე ნაკლები.
3. სუფთა ჰაერის რაოდენობა 10000 კლასის ელექტრონულ სუფთა ოთახში უნდა იყოს შემდეგი ორი ელემენტის მნიშვნელობა.
4. ანაზღაურეთ შიდა გამონაბოლქვი ჰაერის მოცულობის ჯამი და სუფთა ჰაერის მოცულობა, რომელიც საჭიროა შიდა დადებითი წნევის მნიშვნელობის შესანარჩუნებლად.
5. დარწმუნდით, რომ სუფთა ოთახში მიწოდებული სუფთა ჰაერის რაოდენობა ერთ ადამიანზე საათში იყოს არანაკლებ 40 კვადრატული მეტრისა.
გამოქვეყნების დრო: აპრ-08-2024