

ნაწილაკების მკაცრი კონტროლის გარდა, ელექტრონული სუფთა ოთახებს, რომლებიც წარმოდგენილია ჩიპების წარმოების სახელოსნოებით, ინტეგრირებული წრედების მტვრისგან თავისუფალი სახელოსნოებით და დისკების წარმოების სახელოსნოებით, ასევე აქვთ უფრო მკაცრი მოთხოვნები ტემპერატურისა და ტენიანობის კონტროლის, განათებისა და მიკროშოკის მიმართ. მკაცრად აღმოიფხვრას სტატიკური ელექტროენერგიის ზემოქმედება წარმოების პროდუქტებზე, რათა გარემომ შეძლოს ელექტრონული პროდუქტების წარმოების პროცესის მოთხოვნების დაკმაყოფილება სუფთა გარემოში.
ელექტრონული სუფთა ოთახის ტემპერატურა და ტენიანობა უნდა განისაზღვროს წარმოების პროცესის მოთხოვნების შესაბამისად. როდესაც წარმოების პროცესისთვის კონკრეტული მოთხოვნები არ არსებობს, ტემპერატურა შეიძლება იყოს 20-26°C, ხოლო ფარდობითი ტენიანობა 30%-70%. პერსონალის სუფთა ოთახისა და მისაღები ოთახის ტემპერატურა შეიძლება იყოს 16-28℃. ჩინეთის ეროვნული სტანდარტის GB-50073 მიხედვით, რომელიც შეესაბამება საერთაშორისო ISO სტანდარტებს, ამ ტიპის სუფთა ოთახის სისუფთავის დონეა 1-9. მათ შორის, 1-5 კლასის ჰაერის ნაკადის სქემა არის ცალმხრივი ან შერეული ნაკადი; 6 კლასის ჰაერის ნაკადის სქემა არის არაცალმხრივი ნაკადი და ჰაერის ცვლა არის 50-60-ჯერ/სთ; 7 კლასის ჰაერის ნაკადის ტიპი არის არაცალმხრივი ნაკადი და ჰაერის ცვლა არის 15-25-ჯერ/სთ; 8-9 კლასის ჰაერის ნაკადის ტიპი არის არაცალმხრივი ნაკადი, ჰაერის ცვლა არის 10-15-ჯერ/სთ.
მიმდინარე სპეციფიკაციების თანახმად, 10,000 კლასის ელექტრონული სუფთა ოთახში ხმაურის დონე არ უნდა აღემატებოდეს 65 დბ(ა)-ს.
1. ელექტრონულ სუფთა ოთახში ვერტიკალური ნაკადის სრული კოეფიციენტი არ უნდა იყოს 60%-ზე ნაკლები, ხოლო ჰორიზონტალური ცალმხრივი ნაკადის სრული კოეფიციენტი არ უნდა იყოს 40%-ზე ნაკლები, წინააღმდეგ შემთხვევაში ეს იქნება ნაწილობრივი ცალმხრივი ნაკადი.
2. ელექტრონული სუფთა ოთახსა და გარე სივრცეს შორის სტატიკური წნევის სხვაობა არ უნდა იყოს 10 პა-ზე ნაკლები, ხოლო სუფთა და არასუფთა ადგილებს შორის სტატიკური წნევის სხვაობა განსხვავებული ჰაერის სისუფთავით არ უნდა იყოს 5 პა-ზე ნაკლები.
3. 10000 კლასის ელექტრონულ სუფთა ოთახში სუფთა ჰაერის რაოდენობა უნდა ითვალისწინებდეს შემდეგი ორი პარამეტრის მნიშვნელობას.
4. კომპენსაცია გაუკეთეთ შიდა გამონაბოლქვი ჰაერის მოცულობისა და შიდა დადებითი წნევის მნიშვნელობის შესანარჩუნებლად საჭირო სუფთა ჰაერის მოცულობის ჯამს.
5. დარწმუნდით, რომ სუფთა ოთახში ერთ ადამიანზე საათში მიწოდებული სუფთა ჰაერის რაოდენობა არანაკლებ 40 კვადრატული მეტრია.
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 8 აპრილი