რა გავლენას ახდენს ჰაერის ნაკადის ორგანიზების ფაქტორები სუფთა ოთახში?

ჩიპების მოსავლიანობა ჩიპების წარმოების ინდუსტრიაში მჭიდრო კავშირშია ჩიპზე დეპონირებული ჰაერის ნაწილაკების ზომასა და რაოდენობასთან.ჰაერის ნაკადის კარგ ორგანიზაციას შეუძლია მტვრის წყაროებიდან წარმოქმნილი ნაწილაკები სუფთა ოთახიდან წაიღოს და უზრუნველყოს სუფთა ოთახის სისუფთავე.ანუ სუფთა ოთახში ჰაერის ნაკადის ორგანიზაცია სასიცოცხლო როლს ასრულებს ჩიპების წარმოების მოსავლიანობაში.სუფთა ოთახის ჰაერის ნაკადის ორგანიზაციის დიზაინის მიღწევის მიზნებია: შემცირდეს ან აღმოფხვრას მორევის დენები ნაკადის ველში მავნე ნაწილაკების შეკავების თავიდან ასაცილებლად;შეინარჩუნოს შესაბამისი დადებითი წნევის გრადიენტი ჯვარედინი დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად.

სუფთა ოთახის პრინციპის მიხედვით, ნაწილაკებზე მოქმედი ძალები მოიცავს მასის ძალას, მოლეკულურ ძალას, ნაწილაკებს შორის მიზიდულობას, ჰაერის ნაკადის ძალას და ა.შ.

ჰაერის ნაკადის ძალა: ეხება ჰაერის ნაკადის ძალას, რომელიც გამოწვეულია მიწოდებისა და დაბრუნების ჰაერის ნაკადით, თერმული კონვექციური ჰაერის ნაკადით, ხელოვნური აჟიოტაჟით და სხვა ჰაერის ნაკადებით გარკვეული ნაკადის სიჩქარით ნაწილაკების გადასატანად.სუფთა ოთახის გარემოს ტექნოლოგიის კონტროლისთვის ჰაერის ნაკადის ძალა ყველაზე მნიშვნელოვანი ფაქტორია.

ექსპერიმენტებმა აჩვენა, რომ ჰაერის ნაკადის მოძრაობისას ნაწილაკები მიჰყვებიან ჰაერის ნაკადს თითქმის იგივე სიჩქარით.ჰაერში ნაწილაკების მდგომარეობა განისაზღვრება ჰაერის ნაკადის განაწილებით.ჰაერის ნაკადის ძირითადი ეფექტები შიდა ნაწილაკებზე მოიცავს: ჰაერის მიწოდების ჰაერის ნაკადს (პირველადი ჰაერის ნაკადის და მეორადი ჰაერის ნაკადის ჩათვლით), ჰაერის ნაკადი და თერმული კონვექციური ჰაერის ნაკადი, რომელიც გამოწვეულია ადამიანების სიარულით და ჰაერის ნაკადის ზემოქმედება პროცესის ოპერაციებითა და სამრეწველო აღჭურვილობით გამოწვეულ ნაწილაკებზე.ჰაერის მიწოდების სხვადასხვა მეთოდი, სიჩქარის ინტერფეისები, ოპერატორები და სამრეწველო აღჭურვილობა, ინდუცირებული მოვლენები და ა.შ. სუფთა ოთახებში არის ყველა ფაქტორი, რომელიც გავლენას ახდენს სისუფთავის დონეზე.

1. ჰაერის მიწოდების მეთოდის გავლენა

(1) ჰაერის მიწოდების სიჩქარე

ჰაერის ერთიანი ნაკადის უზრუნველსაყოფად, ჰაერის მიწოდების სიჩქარე ცალმხრივი ნაკადის სუფთა ოთახში უნდა იყოს ერთგვაროვანი;ჰაერის მიწოდების ზედაპირზე მკვდარი ზონა უნდა იყოს მცირე;და ჰეპა ფილტრში წნევის ვარდნა ასევე უნდა იყოს ერთგვაროვანი.

ჰაერის მიწოდების სიჩქარე ერთგვაროვანია: ანუ ჰაერის ნაკადის უთანასწორობა კონტროლდება ±20% ფარგლებში.

ჰაერის მიწოდების ზედაპირზე ნაკლები მკვდარი სივრცეა: არა მხოლოდ უნდა შემცირდეს ჰეპა ჩარჩოს სიბრტყის ფართობი, არამედ, რაც მთავარია, მოდულარული FFU უნდა იქნას გამოყენებული ზედმეტი ჩარჩოს გასამარტივებლად.

იმისთვის, რომ ჰაერის ნაკადი ვერტიკალური და ცალმხრივი იყოს, ფილტრის წნევის ვარდნის შერჩევა ასევე ძალიან მნიშვნელოვანია და საჭიროა, რომ ფილტრში წნევის დაკარგვა არ იყოს მიკერძოებული.

(2) შედარება FFU სისტემასა და ღერძული ნაკადის ვენტილატორის სისტემას შორის

FFU არის ჰაერის მიწოდების მოწყობილობა ვენტილატორით და ჰეპა ფილტრით.ჰაერი შეიწოვება FFU-ის ცენტრიდანული ვენტილატორით და გარდაქმნის დინამიურ წნევას ჰაერსადინარში სტატიკურ წნევად.იგი თანაბრად იშლება ჰეპა ფილტრით.ჰაერის მიწოდების წნევა ჭერზე არის უარყოფითი წნევა.ამ გზით მტვერი არ გაჟონავს სუფთა ოთახში ფილტრის გამოცვლისას.ექსპერიმენტებმა აჩვენა, რომ FFU სისტემა აღემატება ღერძულ ნაკადის ვენტილატორის სისტემას ჰაერის გამოსასვლელი ერთგვაროვნებით, ჰაერის ნაკადის პარალელურობით და ვენტილაციის ეფექტურობის ინდექსით.ეს იმიტომ ხდება, რომ FFU სისტემის ჰაერის ნაკადის პარალელურობა უკეთესია.FFU სისტემის გამოყენებამ შეიძლება გააუმჯობესოს ჰაერის ნაკადის ორგანიზაცია სუფთა ოთახში.

(3) FFU-ს საკუთარი სტრუქტურის გავლენა

FFU ძირითადად შედგება გულშემატკივრებისგან, ფილტრებისგან, ჰაერის ნაკადის სახელმძღვანელოსგან და სხვა კომპონენტებისგან.ჰეპა ფილტრი არის ყველაზე მნიშვნელოვანი გარანტია სუფთა ოთახისთვის, რათა მივაღწიოთ დიზაინის საჭირო სისუფთავეს.ფილტრის მასალა ასევე იმოქმედებს ნაკადის ველის ერთგვაროვნებაზე.როდესაც ფილტრის უხეში მასალა ან დინების ფირფიტა ემატება ფილტრის გასასვლელს, გამოსასვლელი ნაკადის ველი ადვილად შეიძლება გახდეს ერთგვაროვანი.

2. სიჩქარის ინტერფეისის გავლენა სხვადასხვა სისუფთავეზე

იმავე სუფთა ოთახში, სამუშაო ზონასა და არასამუშაო ზონას შორის ვერტიკალური ცალმხრივი ნაკადით, ჰაერის სიჩქარის სხვაობის გამო ჰეპა ყუთში, ინტერფეისზე მოხდება შერეული მორევის ეფექტი და ეს ინტერფეისი გახდება ტურბულენტური. ჰაერის ნაკადის ზონა.ჰაერის ტურბულენტობის ინტენსივობა განსაკუთრებით ძლიერია და ნაწილაკები შეიძლება გადაეცეს აღჭურვილობის აპარატის ზედაპირზე და დაბინძურდეს აღჭურვილობა და ვაფლი.

3. ზემოქმედება პერსონალსა და აღჭურვილობაზე

როდესაც სუფთა ოთახი ცარიელია, ოთახში ჰაერის ნაკადის მახასიათებლები ზოგადად აკმაყოფილებს დიზაინის მოთხოვნებს.მას შემდეგ, რაც აღჭურვილობა შედის სუფთა ოთახში, ხალხი გადაადგილდება და პროდუქტები ტრანსპორტირდება, გარდაუვალია დაბრკოლებები ჰაერის ნაკადის ორგანიზებისთვის, როგორიცაა მკვეთრი წერტილები, რომლებიც ამოიწურება მოწყობილობის მანქანიდან.კუთხეებში ან კიდეებზე გაზი გადაინაცვლებს ტურბულენტური ნაკადის არეალს და სითხე ამ მიდამოში იოლად ვერ გაიტანს შემომავალ გაზს, რაც იწვევს დაბინძურებას.

ამავდროულად, მექანიკური აღჭურვილობის ზედაპირი გაცხელდება უწყვეტი მუშაობის გამო, ხოლო ტემპერატურის გრადიენტი გამოიწვევს დანადგარის მახლობლად გადინების არეალს, რაც ზრდის ნაწილაკების დაგროვებას გადადინების ზონაში.ამავდროულად, მაღალი ტემპერატურა ადვილად გამოიწვევს ნაწილაკების გაქცევას.ორმაგი ეფექტი აძლიერებს მთლიან ვერტიკალურ ფენას.ნაკადის სისუფთავის კონტროლის სირთულე.სუფთა ოთახში ოპერატორების მტვერი ადვილად ეწებება ვაფლებს ამ გადასვლის ადგილებში.

4. დაბრუნების ჰაერის იატაკის გავლენა

როდესაც იატაკზე გამავალი დასაბრუნებელი ჰაერის წინააღმდეგობა განსხვავებულია, წნევის სხვაობა წარმოიქმნება, რის შედეგადაც ჰაერი მიედინება მცირე წინააღმდეგობის მიმართულებით და ჰაერის ერთიანი ნაკადი არ მიიღება.ამჟამინდელი პოპულარული დიზაინის მეთოდი არის ამაღლებული იატაკის გამოყენება.როდესაც ამაღლებული იატაკის გახსნის თანაფარდობა არის 10%, ჰაერის ნაკადის სიჩქარე შეიძლება თანაბრად გადანაწილდეს შიდა სამუშაო სიმაღლეზე.გარდა ამისა, მკაცრი ყურადღება უნდა მიექცეს დასუფთავების სამუშაოებს, რათა შემცირდეს დაბინძურების წყარო იატაკზე.

5. ინდუქციის ფენომენი

ეგრეთ წოდებული ინდუქციური ფენომენი ეხება ჰაერის ნაკადის წარმოქმნის ფენომენს ერთიანი ნაკადის საპირისპირო მიმართულებით, რაც იწვევს ოთახში წარმოქმნილ მტვერს ან მტვერს მიმდებარე დაბინძურებულ ადგილებში ქარისკენ, რითაც იწვევს მტვრის დაბინძურებას ვაფლისკენ.შესაძლო ინდუცირებული ფენომენები მოიცავს შემდეგს:

(1) ბრმა ფირფიტა

სუფთა ოთახში ვერტიკალური ცალმხრივი ნაკადით, კედელზე არსებული სახსრების გამო, არის ზოგადად დიდი ბრმა პანელები, რომლებიც წარმოქმნიან ტურბულენტურ ნაკადს და ადგილობრივ უკუნაკადს.

(2) ნათურები

სუფთა ოთახში განათების მოწყობილობები უფრო დიდ გავლენას მოახდენს.ვინაიდან ფლუორესცენტური ნათურის სიცხე იწვევს ჰაერის ნაკადის აწევას, ფლუორესცენტური ნათურა არ გახდება ტურბულენტური ადგილი.ზოგადად, სუფთა ოთახში ნათურები შექმნილია ცრემლის ფორმის, რათა შეამცირონ ნათურების გავლენა ჰაერის ნაკადის ორგანიზაციაზე.

(3) უფსკრული კედლებს შორის

როდესაც არის უფსკრული დანაყოფების კედლებსა და ჭერებს შორის სისუფთავის განსხვავებული მოთხოვნებით, მტვერი დაბალი სისუფთავის მოთხოვნების მქონე უბნებიდან შეიძლება გადაიტანოს მიმდებარე ტერიტორიებზე მაღალი სისუფთავის მოთხოვნებით.

(4) მანძილი მექანიკურ აღჭურვილობასა და იატაკს ან კედელს შორის

თუ მექანიკურ აღჭურვილობასა და იატაკს ან კედელს შორის უფსკრული მცირეა, წარმოიქმნება მობრუნების ტურბულენტობა.ამიტომ, დატოვეთ უფსკრული აღჭურვილობასა და კედელს შორის და აწიეთ მანქანის პლატფორმა, რათა თავიდან აიცილოთ პირდაპირი კონტაქტი მიწასთან.